Metal Heater 系列
2024-08-19(515)次浏览
◆ 我们的浇注方法可提供较长的加热器寿命和热均匀性。真空钎焊和过盈配合结构 (IFC) 方法是优异的非铸造替代方案。
◆ 铝 356 是基座加热器的主要铸造合金,对大多数工艺环境具有较好的兼容性,高工作温度为 450°C (840°F),典型温度均匀性为 ±0.3% 或更高。
◆ 借助 IFC,可以使用铝 6061,或者对于更高的工作温度,CAS 提供各种不锈钢牌号、铜、镍和其他高性能合金的解决方案。
◆ 精密 CNC 加工可制造出满足严格平整度要求的部件;还提供表面特征,例如晶圆提升孔、接近销和真空槽阵列。
◆ 轴通过TIG或电子束焊接进行集成,然后检查氦气泄漏的真空完整性。
◆ 涂层选项包括硬涂层阳极氧化、化学镀镍板、金或铜板、粉末涂层选项、微研磨等。还提供钝化程序。
◆ 我们的内部洁净室设施可提供半工业规格的清洁和包装。
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